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目前为止,市场上所有应用于纳米定位的压电转移台(PTZs)的行程都十分有限,基本上在5-200μm。此外,如果使用了步进电机或者DC,行程可以达到10-100mm,但是分辨率会相对降低(通常0.1μm甚至更差),这种精度无法满足纳米级定位的要求。
目前的PTZ另外一个重要的缺陷是很大的漂移,通常在20摄氏度的环境中达到2000nm/小时。这大大影响了测量的重复精度。
新一代的纳米定位器采用软件自动控制,彻底解决了上面的问题:行程100mm,分辨率0.4nm,20摄氏度环境中每小时漂移小余2nm。由于具有了与传统PTZ的明显优势,新的定位技术将为光电,光纤,测量,测试及显微设备提供巨大的技术进步空间。
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