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本系统是世界上第一台综合了线性调整和角度调整的三维定位系统。它在同类设备中第一个实现了探针或者工具端在任何可变角度针对目标的精确定位。借助于DTI专利的技术,在探针/工具本体针对目标的接触角度不断变化的过程中,探针/工具的顶端工作点都可以保持高精度的定位。
一百多年来,应用于微定位和显微定位领域的设计原理一直是以基于传统的
X-Y 或者X-Y-Z轴线的线性位移为基础的。每个线性位移的轴线都是固定的并与其它两个轴线的平面相垂直。尽管在显微定位领域进行过多次的革新,但是这些技术改进都是集中在机械工艺及控制系统上,以活得更高的精度,更好的分辨率和更高的稳定性。
除此之外,每次试验中人们都希望能够自由改变探针接触目标表面的角度。众多的显微厂商进行了许多尝试,比如增加夹具和附件,或者使测量轴能够转动或改变角度。但是这需要将探针从目标表面移动开,然后手工设定新的位置,使得工作变得繁琐复杂。到目前为止,其实并没有任何其它的设备可以实现对工具的线性变化和角度变化的同时精确控制。
因此,我们的变角多维精密定位系统成为这一应用领域的完美解决方案。它代表了显微/纳米定位领域的一项飞跃,构建了全新的多维定位理念和设计方案。它使得探针的端点可以维持精密的定位,同时,探针的轴线可以任意的变化角度。
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